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SB100A/3型四探針導(dǎo)體/半導(dǎo)體電阻率測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù)

由于金屬塊體材料的電阻和金屬薄膜的電阻很低，他們的測(cè)量采用四端接線法。為了滿足實(shí)際的需要，本儀器采用四探針?lè)ㄔ韥?lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)不同金屬、半導(dǎo)體、導(dǎo)電高分子材料的電阻及電阻率的測(cè)量?？捎糜诟咝Ｎ锢斫逃龑?shí)驗(yàn)，對(duì)導(dǎo)體/半導(dǎo)體/金屬薄膜材料的電阻 及電阻率的測(cè)試及研究。本產(chǎn)品的電阻測(cè)量范圍可達(dá)10-5—106Ω。

SB100A/3型四探針導(dǎo)體/半導(dǎo)體電阻率測(cè)量?jī)x是由SB118/1型精密電壓電流源以及SB120/2四探針樣品平臺(tái)二臺(tái)儀器構(gòu)成。

l SB118型精密直流電壓電流源 （詳見(jiàn)該產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)）

直流電流源

a)  電流輸出范圍：1nA~200mA，輸出電壓不小于5V；

b)  量程：分五檔，20μA、200μA、2mA、20mA、200mA；

c)   電流輸出的基本wu差：0.03%RD±0.02%FS（20±2℃）；其中50~200mA為0.05%RD±0.02%FS。

直流電壓源

a)  電壓輸出范圍：5μV~50V，負(fù)載電流不小于10mA（20mV以上）；

b) 量程：分五檔，20mV、200mV、2V、20V、50V，每檔均有粗調(diào)和細(xì)調(diào)；

c)  電壓輸出的基本wu差：0.05%RD±0.02%FS（20±2℃）。

數(shù)字電壓表（4?LED）利用電壓源部分“取樣"端可對(duì)被測(cè)電壓進(jìn)行測(cè)試

a)  測(cè)量量程   20mV，200mV，2V，20V，200V

b)  最高分辨力  可達(dá)1µV

c) 基本誤差為 0.03%RD±0.02%FS   （20±2oC）

l  SB120/2四探針樣品平臺(tái)（詳見(jiàn)該產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)）

為被測(cè)薄膜樣品，利用四探針測(cè)量方式測(cè)量導(dǎo)體/半導(dǎo)體樣品的電阻和電阻率，提供了方便。

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